高频直流高压发生器一般分为0.5，1.0，1.5，2.0和3.0共5个等级，每一个等级对应的允许误差分别是±0.5，±1.0，±1.5，±2.0，±3.0。

　　二、输出电压

　　高频直流高压发生器输出电压基本误差用下式表示：

　　输出电压的相对误差=【（输出电压示值-输出电压实际值）/输出电压实际值】*100%。

　　三、输出电流

　　高频直流高压发生器输出电流基本误差用下式表示：

　　输出电流的相对误差=【（输出电流示值-输出电流实际值）/输出电流实际值】*100%。

　　四、输出电压持续时间

　　输出电压持续时间设定示值与实测值之差不应超过实测值的5%。用下式表示：

　　输出电压持续时间的相对误差=【（输出电压持续时间的示值-输出电压持续时间的实际值）/输出电压持续时间的实际值】*100%。

　　五、输出电压的纹波

　　高频直流高压发生器输出电压的纹波系数应小于5%。用下式表示：

　　输出电压的纹波系数=【输出电压的纹波电压有效值*分压比/输出电压的额定值】*100%。

　　六、短期稳定性

　　高频直流高压发生器在开机5min内，输出电压的漂移值应不大于额定输出电压值的1%。用下式表示：

　　输出电压的漂移值=【（输出电压zui大值-输出电压zui小值）/输出电压额定值】*100%。